壓縮空氣經過純化的進塔空氣在主熱交換器中與返流氣體換熱，被逐漸冷卻為飽和空氣，並有少量液化，然後進入下塔進行精餾。精餾就是利用氧、氮沸點不同在分餾塔內進行多次部分蒸發和部分冷凝獲得純氧、純氮的過程。下分餾塔的作用是制取液空和液氮。主冷凝蒸發器的作用是使低壓下不同壓力的液氧蒸發和氣氮冷凝，上分餾塔的作用是獲得產品氧氣和氮氣。
設備採用深度冷凍分離原理，選擇分子篩常溫吸附、返流膨脹制冷制氧制氮流程。原料空氣經空氣過濾器，除去其中的塵埃及其它機械雜質后，進入螺杆空氣壓縮機壓至1.2MPa，壓縮空氣經風冷卻器，進入空氣預冷機組冷卻到5～8℃，在水分離器除去水分，而後進入分子篩純化器，清除其中的水分、CO2及乙炔等碳氫化合物。純化器由兩隻吸附器組成；一只工作，另一只再生（系自動切換）。再生氣為出冷箱的污氮，用膨脹機制動風機增壓，在電加熱器進行加熱。純化器的切換週期為8hr。
空氣出純化器的溫度，由於分子篩的吸附熱使其溫度上升。純化后的空氣進入冷箱，在主換熱器中與返流的污氮、氮氣、氧氣換熱，被冷卻到液化溫度，其中有少量空氣被液化。然後進入下塔底部，空氣經篩孔塔板逐塊上升，與從塔頂冷凝器的回流液氮進行熱質交換，結果在塔底得到液空，塔頂得到的高純氮氣。
液空經過過冷器過冷並節流后進入上塔中部作精餾塔的回流液。而塔頂的氮氣除部分作產品抽出外，其餘全冷凝為液氮，大部分作精餾的回流液，少量作為液體產品抽出，經貯液器排出冷箱。產品氮氣經主換熱器與空氣換熱至常溫后，作為產品輸出給用戶。
產品時，可從冷凝蒸發器底部直接抽出。
設備是以長期穩定可靠運行、節能、操作維修簡單方便為設計原則。以下優點。
* 氮氣氣純度高並且非常穩定
* 該流程是新開發設計，我公司能夠成熟的運用該技術。
* 安全性好 --外壓縮流程採用氧氣在常溫下以氣體形式壓縮，內壓縮流程採用液氧在低溫下以液體形式壓縮，內壓縮流程的安全性能更高
* 啟動時間短，用戶可根據自身實際需要中途停車，加溫后從膨脹機啟動到合格產品產出時間在12小時以內。
*配套機組少，不採用氧氣、氮氣儲氣囊及氧氣、氮氣壓縮機，佔地面積大大減小。
